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En plazo · 13 días Expediente MY26/ITEAM/S/55Suministros

Suministro, instalación y puesta en funcionamiento de un equipo Electron Beam Lithography tool up to 8-inch wafers (UPV04) y un equipo SEM (UPV13) para la Pilot Line de la UPV

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Presupuesto base

4.242.784,00 €

Fecha límite

15/09/2026, 23:59

Organismo

Rectorado de la Universitat Politècnica de València

Ubicación

Valencia/València

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Datos económicos

Presupuesto base

4.242.784,00 €

Presupuesto con impuestos

5.133.768,64 €

Datos técnicos y procedimiento

Tipo de contrato

Suministros

CPVs (1)

31712110

Criterios de adjudicación

Cómo se reparten los puntos en la valoración de ofertas.

Total: 100 pts

  • DETECCIÓN AUTOMÁTICA DE ALTURA Y CORRECCIÓN DEL PLANO FOCAL

    Automático

    Ver apartado LL del cuadro de características.

    4 pts

  • ESTACIÓN AVANZADA DE PRE-ALINEAMIENTO (PRE-ALIGNMENT STATION)

    Automático

    Ver apartado LL del cuadro de características.

    10 pts

  • MÓDULO DE ROTACIÓN E INCLINACIÓN (TILT) PARA INSPECCIÓN

    Automático

    Ver apartado LL del cuadro de características.

    4 pts

  • OFERTA ECONÓMICA: PRECIO

    Automático

    Ver apartado LL del cuadro de características.

    66 pts

  • ESTACIÓN DE VALIDACIÓN DE RECETAS DE PROCESO (EMULADOR)

    Automático

    Ver apartado LL del cuadro de características.

    10 pts

  • GENERADOR DE ESCANEO CON CORRECCIÓN DE DISTORSIÓN EN TIEMPO REAL

    Automático

    Ver apartado LL del cuadro de características.

    6 pts

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